Åpne en sputtering system . Fjern frese pistol skjold og skru ringen som holder din sputtering mål på plass . Plasser metallisk oksid målet på frese pistolen og skru på plass målet ring med en presisjon skrutrekker . Bytt frese pistol skjold . Legg plast substratet inn i substratet holderen . Lukk sputtering system .
To
Pump sputtering systemet ned til et passende trykk setting som 10 ^ -6 millibar . Påse at lukkeren er lukket , slik at underlaget ikke utsettes for en avleiring inntil nødvendig . Introduser systemets argongass inn i kammeret inntil et trykk på ca 5 millibar er nådd.
3
Slå på radiofrekvens effektforsyningen . Vent til en synlig plasma kan ses inne i kammeret sputtering . Åpne lukkeren . Plasten substrat blir nå utsatt for en avsetning av metalloksyd- molekyler. Lukk utløseren når ønsket tykkelse er oppnådd .