Plasser underlaget på spin - coater chuck . Ved hjelp av en pipette , plasserer nok SU8 2002 motstå på underlaget for å dekke det . Programmere spin - coater å spinne på 500 rpm i 10 sekunder og deretter 2000 rpm i 30 sekunder . Produsenten spesifikasjonen ark sier at dette skal føre til en motstå tykkelse på 2,4 mikron .
To
Fjern prøven fra spin - coater og legg den på en varm plate satt til 95 grader Celsius eller 203 grader Fahrenheit . La prøven på den varme plate i to minutter. Fjern prøven og la den avkjøles i fem minutter .
3
Legg foto - maske i masken aligner . Plasser prøven under masken. Expose prøven . Fjern prøven fra masken aligner og plassere den i et beger av utbygger i ett minutt . Etter utvikling , skyll prøve i isopropyl alkohol . Prøven vil nå bestå av en serie med mønstrede groper, som kobber kan bli satt inn for å fullføre PCB .
4
Plasser en pellet av kobber inn i fordampningskammeret smeltedigel . Nedpumpbare fordampningskammeret til et trykk på ca 10 ^ -6 mbar eller 10 ^ -4 pascal . Innskudd den ønskede tykkelse av kobber. Fjern prøven fra fordamperen. Plasser prøven i et begerglass med aceton. Dette fjerner de rester SU8 motstå , og forlater kobber spor . Skyll prøven i et begerglass med IPA . PCB er komplett