Plasser silisium substrat på spin - coater chuck . Velg en sentrifugeringshastighet på 3000 RPM , og en spin på 2 minutter . Plasser noen dråper S1813 på underlaget og starte spinning.
To
Slå på den varme platen og sett den til 110 grader Celsius ( 230 grader Fahrenheit ) . Vent til den varme platen har nådd settpunkt temperatur . Plasser prøven på den varme plate i 2 minutter. Ta prøven og la den avkjøles .
3
Plasser prøven i masken aligner , og plassere masken med rundløype i masken aligner over prøven . Expose prøven for ultrafiolett lys for to sekunder .
4
Plasser prøven i S1813 utvikler for 30 sekunder . Utbygger fjerner utsatte deler av prøven , danner en rundløype som superledende materialet kan bli satt inn .
5
Plasser prøven inn i fordamperen , og legg et par pellets av Niob inn fordampningen smeltedigel . Fordampe 100 nanometer niob . Fjern prøven fra fordampningskammeret . Plasser prøven i aceton. Aceton fjerner alle deler av foto- motstå forlater superledende rundløype . Prøven er fullstendig. Niob er superledende under 9,3 Kelvin .