DIY RF Coupling Plasma

Atomer består av en positivt ladet kjerne omgitt av en sky av negativt ladde elektroner . Noen ganger atomer kan få eller miste elektroner , noe som fører til dem å anskaffe en positiv eller negativ ladning . Et atom med en netto ladning er kjent som et ion . Plasma er en sky av ioner , og disse kan ha en rekke anvendelser på det halvledende prosessindustrien. En plasma kan produseres inne i en Argon - fylt vakuumkammeret ved hjelp av en strømforsyning som genererer radiofrekvens (RF) radiation.Things du trenger
RF vakuumkammermed Argon masse kontrolleren
Rotary pumpe
Turbo pumpe
RF strømforsyning
RF matchende nettverk
to RF kabler på
Vis flere Instruksjoner
en

Slå på roterende pumpe og vente til trykket er komme til 10 ^ -3 millibar . Slå på turbo pumpe , og vent til det å trappe opp . Vent til et trykk på ca 10 ^ -6 millibar er nådd .
To

Koble en RF- kabel mellom RF matchende enhet og RF strømforsyning . Koble en annen kabel mellom RF matchende enhet , og RF vakuumkammeretelektrodekontakten.
3

Delvis nær ventilen til turbopumpen. Slå på Argon masse kontrolleren , og sette et trykk på 15 millibar . Slå på RF-effektforsyningen og målrettet enhet. Sett en forward kraft av 50 watt. Det tilsvarende enhet blir hørt som den prøver å minimere reflektert RF power . Når den reflekterte effekt er mindre enn en prosent av den frem kraft , øk strøm frem til omtrent 150 watt. Plasma i kammeret skal lyse , og være synlig om kammeret view- port . Sakte senke frem makt tilbake til 50 watt . RF par plasma er opprettet .